99,999% titane élémentaire expérimental titanique de la cible Gr1 de pulvérisation de grande pureté

Titane élémentaire expérimental de la cible 99,999% de cible de grande pureté titanique de pulvérisation

Cible ronde titanique adaptée aux besoins du client de cible titanique

Habituellement nous fournirons à un rapport d'inspection de qualité comme ceci les marchandises,

ce qui montre la composition chimique et les propriétés physiques

Cible carrée titanique, cible ronde titanique, cible spéciale titanique de forme

La pureté est l'un des indicateurs de performance de cible.

La pureté du matériel de cible exerce un grand effet sur la représentation du film.

Exigences de marche principales pour des cibles :

Pureté

La pureté de la cible est l'un des indicateurs de performance principaux de la cible parce que la pureté de la cible affecte considérablement la représentation du film. Cependant, dans des applications réelles, les conditions pour la pureté du matériel de cible ne sont pas identiques. Par exemple, avec le développement rapide de la microélectronique l'industrie que la taille de la gaufrette de silicium a été augmentée de 6", 8" à 12", la largeur de câblage a été réduite de 0,5 um à 0,25 um, à 0,18 um, et à 0,13 um. Précédemment, la pureté de cible était 99,995%.

Contenu d'impureté

La source principale du film déposé est l'oxygène et l'humidité des solides et des pores de cible. Les cibles pour différentes applications ont différentes conditions pour différents niveaux d'impureté. Par exemple, les cibles des alliages en aluminium et d'aluminium purs utilisés dans l'industrie de semi-conducteur ont des conditions spéciales pour le contenu alcalin et le contenu d'élément radioactif.

Densité

Afin de réduire les pores des solides de cible et améliorer la représentation des films pulvérisés, les cibles doivent typiquement être plus en masse. La densité de cible affecte non seulement le taux de pulvérisation mais les propriétés également électriques et optiques du film. Plus la densité de cible est haute, plus la représentation de film est meilleure. En outre, quand la densité de cible et l'intensité sont augmentées, la cible peut résister à la contrainte thermique pendant la pulvérisation. La densité est l'un des indicateurs de performance de cible.

Grosseur du grain et distribution de grandeurs

Habituellement la cible est polycristalline, et la dimension particulaire peut être dans l'ordre des micromètres au millimètre. Dans le cas de la même cible, la vitesse de pulvérisation de la cible à grain fin est plus rapide que le taux de pulvérisation de la cible à grain grossier, tandis que pulvérisez le dépôt de la cible plus petite de dimension particulaire (distribution uniforme) a une distribution uniforme d'épaisseur (uniforme). Distribution.